在半導(dǎo)體、光伏等高端制造領(lǐng)域，工藝氣體的微小波動(dòng)，往往就是良率滑坡的開始。

針對(duì)復(fù)雜工況下的氣體監(jiān)測(cè)痛點(diǎn)，一款專為先進(jìn)制程打造的國(guó)產(chǎn)利器——HM-230多壓力殘余氣體分析儀重磅登場(chǎng)。 

作為一款集RGA（殘余氣體分析儀）、真空系統(tǒng)及智能進(jìn)樣模塊于一體的在線質(zhì)譜分析設(shè)備，高效適配多壓力復(fù)雜工況，為先進(jìn)制程穩(wěn)定運(yùn)行保駕護(hù)航。

九大核心價(jià)值，重新定義在線氣體監(jiān)測(cè)

1 寬壓適配：突破壓力邊界

覆蓋1E-8Torr~1.2atm全壓力范圍，提供1-100/200/300amu三種質(zhì)量數(shù)選擇，實(shí)時(shí)精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)H?、He、N?、O?、Ar等關(guān)鍵氣體成分，穩(wěn)定適配各類復(fù)雜工藝。

2 在線分析：實(shí)時(shí)預(yù)警風(fēng)險(xiǎn)

毫秒級(jí)響應(yīng)速度，實(shí)時(shí)追蹤工藝氣體組分變化，一旦發(fā)現(xiàn)異常波動(dòng)立即報(bào)警，提前鎖定污染與工藝偏移風(fēng)險(xiǎn)，避免批量不良品產(chǎn)生。

3 一體集成：即接即測(cè)快速落地

將RGA、真空系統(tǒng)、進(jìn)樣模塊高度集成，無(wú)需額外搭建復(fù)雜真空系統(tǒng)，直接對(duì)接產(chǎn)線，大幅縮短項(xiàng)目落地周期，降低部署成本。

4 抗污設(shè)計(jì)：長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行

采用抗污染涂層+表面鈍化工藝，有效減少工藝沉積物對(duì)核心部件的污染，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，保障長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性與一致性。

5 雙模檢測(cè)：兼顧精度與范圍

FC/EM雙檢測(cè)器協(xié)同工作，既滿足痕量氣體的高靈敏度檢測(cè)，又能應(yīng)對(duì)高濃度組分的寬動(dòng)態(tài)范圍分析，復(fù)雜氣體成分也能精準(zhǔn)定性定量。

6 智能分析：降低人工依賴

內(nèi)置自動(dòng)分析算法，實(shí)現(xiàn)氣體組分的自動(dòng)定性定量、異常自動(dòng)報(bào)警，降低操作門檻與人工成本。

7 高效集成：對(duì)接智能工廠

支持API接口與數(shù)據(jù)上傳功能，可快速對(duì)接MES系統(tǒng)及設(shè)備控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)工藝數(shù)據(jù)的互聯(lián)互通，助力智能工廠的數(shù)字化管控。

8 廣泛兼容：覆蓋先進(jìn)制程

適配CVD、PVD、ALD、刻蝕、真空鍍膜等多種高端制造工藝，一臺(tái)設(shè)備即可滿足多制程的氣體監(jiān)測(cè)需求，適配不同客戶的多樣化場(chǎng)景。

9 核心自研：交期短，供應(yīng)穩(wěn)

核心部件100%自主研發(fā)，交付周期更短，本土團(tuán)隊(duì)提供快速響應(yīng)服務(wù)，全方位保障供應(yīng)鏈安全，護(hù)航客戶穩(wěn)定量產(chǎn)。

為什么復(fù)雜工藝更需要在線監(jiān)測(cè)？

因?yàn)樵谙冗M(jìn)制程中，很多關(guān)鍵問(wèn)題，并不會(huì)“突然發(fā)生”。而是：通過(guò)氣體變化，提前釋放信號(hào)。例如：前驅(qū)體比例漂移、副產(chǎn)物異常增加、腔體污染、微泄漏、膜層沉積異?！绻荒軐?shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)，最終就會(huì)演變成：良率波動(dòng)、批量不良、停機(jī)損失。

HM-230的價(jià)值，正是在問(wèn)題擴(kuò)大之前，提前發(fā)現(xiàn)問(wèn)題。

典型應(yīng)用場(chǎng)景，賦能先進(jìn)制造

CVD 化學(xué)氣相沉積：實(shí)時(shí)監(jiān)控前驅(qū)體氣體比例，防止反應(yīng)不均

PVD 物理氣相沉積：檢測(cè)真空室殘留氣體，降低薄膜缺陷率

ALD 原子層沉積：精確控制脈沖氣體濃度，提升沉積均勻性

刻蝕工藝監(jiān)測(cè)：快速發(fā)現(xiàn)刻蝕副產(chǎn)物異常，避免過(guò)刻或殘留

真空鍍膜過(guò)程分析：全程追蹤膜層形成過(guò)程中的氣體變化

真空泄漏與污染監(jiān)測(cè)：即時(shí)發(fā)現(xiàn)微小泄漏點(diǎn)，減少停機(jī)排查時(shí)間

核心痛點(diǎn)剖析&破局方案

痛點(diǎn)一：壓力適配難

傳統(tǒng)RGA僅能覆蓋窄壓力范圍，無(wú)法滿足多制程的多樣化壓力需求。

破局方案：HM-230搭載寬壓進(jìn)樣技術(shù)，1E-8 Torr~1.2 atm全壓力覆蓋，一臺(tái)設(shè)備適配多制程需求。

痛點(diǎn)二：污染損耗大

工藝氣體雜質(zhì)易污染檢測(cè)器，縮短壽命，增加維護(hù)成本。

破局方案：HM-230內(nèi)置采用抗污染設(shè)計(jì)，可有效減少核心部件污染，降低維護(hù)頻率，提升設(shè)備利用率。

痛點(diǎn)三：響應(yīng)速度慢

離線分析滯后性強(qiáng)，無(wú)法實(shí)時(shí)捕捉工藝異常，導(dǎo)致批量良率損失。

破局方案：HM-230支持實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，毫秒級(jí)響應(yīng)速度，確保異常提前預(yù)警，讓風(fēng)險(xiǎn)止步于萌芽。

痛點(diǎn)四：集成成本高

需要額外搭建真空系統(tǒng)與進(jìn)樣裝置，部署周期長(zhǎng)、成本高。

破局方案：HM-230采用一體化集成設(shè)計(jì)，即接即測(cè)快速部署，降低集成成本與項(xiàng)目周期。

結(jié)語(yǔ)

HM-230RGA 不只是一個(gè)氣體分析儀器，它更是產(chǎn)線上的全天候氣體哨兵。 

在良率競(jìng)爭(zhēng)日益激烈的今天，它幫助您提前發(fā)現(xiàn)隱患、減少停機(jī)、優(yōu)化工藝，讓每一次沉積、刻蝕、鍍膜都更可控。

如果您正在面臨制程氣體監(jiān)測(cè)的痛點(diǎn)，或者想了解更多產(chǎn)品細(xì)節(jié)，歡迎隨時(shí)咨詢，我們將為您提供定制化的解決方案，助力您的制程更智能、更穩(wěn)定、更高效！