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HM-230多壓力殘余氣體分析儀
- 寬壓適配
- 覆蓋1E-8Torr~1.2atm全壓力范圍，提供1-100/200/300amu三種質(zhì)量數(shù)選擇，實時精準監(jiān)測H?、He、N?、O?、Ar等關(guān)鍵氣體成分
- 在線分析
- 毫秒級響應(yīng)速度，實時追蹤工藝氣體組分變化，一旦發(fā)現(xiàn)異常波動立即報警
- 一體集成
- 將RGA、真空系統(tǒng)、進樣模塊高度集成，無需額外搭建復雜真空系統(tǒng)，即接即測快速落地
- 抗污設(shè)計
- 采用抗污染涂層+表面鈍化工藝，有效減少工藝沉積物對核心部件的污染，延長設(shè)備使用壽命
產(chǎn)品概述
HM-230多壓力殘余氣體分析儀是一款集RGA（殘余氣體分析儀）、真空系統(tǒng)及智能進樣模塊于一體的在線質(zhì)譜分析設(shè)備，高效適配多壓力復雜工況，為先進制程穩(wěn)定運行保駕護航。
規(guī)格參數(shù)
應(yīng)用場景
應(yīng)用案例
