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HM-150高壓力殘余氣體分析儀
- 高壓兼容
- 支持最高2Pa工作壓強(qiáng)，高效適配 PVD工藝監(jiān)測(cè)
- 全譜掃描
- 1-50 amu 及 1-100 amu?雙質(zhì)量數(shù)范圍，支持全譜掃描與特定質(zhì)量數(shù)掃描，可精準(zhǔn)分辨 H?、He、N?、O?、Ar 等氣體，實(shí)現(xiàn)快速定性定量分析
- 極致靈敏
- 最低?2E-9 Pa?的分壓檢測(cè)限，精準(zhǔn)鎖定污染源
- 智控預(yù)警
- 支持API集成與自動(dòng)監(jiān)測(cè)報(bào)警功能，賦能數(shù)字化產(chǎn)線(xiàn)
產(chǎn)品概述
HM-150高壓力殘余氣體分析儀，專(zhuān)為高壓嚴(yán)苛工況打造，它就像產(chǎn)線(xiàn)的“防損尖兵”，以硬核技術(shù)重塑良率標(biāo)桿，為高端制造的穩(wěn)定生產(chǎn)保
駕護(hù)航。
規(guī)格參數(shù)
應(yīng)用場(chǎng)景
應(yīng)用案例
