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HM-130高性能殘余氣體分析儀
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- 2E-15Torr最小可檢分壓，精準(zhǔn)捕捉超低濃度氣體雜質(zhì)
- 瞬時(shí)響應(yīng)
- 2ms/點(diǎn)高速掃描，實(shí)時(shí)捕捉制程瞬態(tài)變化
- 寬幅探測
- 覆蓋1–300amu全量程，兼容多場景、多氣體的定性定量分析
- 穩(wěn)定可靠
- 面向半導(dǎo)體與真空鍍膜嚴(yán)苛環(huán)境設(shè)計(jì)，長期運(yùn)行性能穩(wěn)定，確保量產(chǎn)工藝高度一致
產(chǎn)品概述
HM-130高性能殘余氣體分析儀，專為半導(dǎo)體及真空工藝量身打造，它以自研核心技術(shù)，為真空制程裝上“數(shù)字慧眼”。
規(guī)格參數(shù)
應(yīng)用場景
應(yīng)用案例
