在半導(dǎo)體 PVD、CVD 及 ALD 等先進(jìn)制程中，真空環(huán)境的純凈度直接決定了產(chǎn)品的良率。一個(gè)微小的氣體泄漏、一次微不可察的副產(chǎn)物殘留，都可能導(dǎo)致整批晶圓的報(bào)廢，讓企業(yè)承受巨大的停機(jī)損耗與成本壓力。

海瑞思HM-150高壓力殘余氣體分析儀，專為高壓嚴(yán)苛工況打造，它就像產(chǎn)線的“防損尖兵”，以硬核技術(shù)重塑良率標(biāo)桿，為高端制造的穩(wěn)定生產(chǎn)保駕護(hù)航。

一、八大硬核性能，解鎖監(jiān)測新高度

HM-150基于先進(jìn)的四極桿質(zhì)譜技術(shù)，從精度、穩(wěn)定性到響應(yīng)速度，全方位滿足高壓復(fù)雜工況的監(jiān)測需求：

01 高壓兼容，適配多元工藝

支持最高2Pa工作壓強(qiáng)，高效適配 PVD、CVD 及 ALD 工藝監(jiān)測，無需復(fù)雜改造，即可快速接入現(xiàn)有產(chǎn)線。 

02 全譜掃描，精準(zhǔn)識(shí)別

1-50 amu 及 1-100 amu 雙質(zhì)量數(shù)范圍，支持全譜掃描與特定質(zhì)量數(shù)掃描，可精準(zhǔn)分辨 H?、He、N?、O?、Ar 等氣體，實(shí)現(xiàn)快速定性定量分析。

03 雙檢聯(lián)動(dòng)，覆蓋全濃度范圍

搭載 FC（法拉第杯）與 MCP（微通道板）雙檢測器，實(shí)現(xiàn)了從常量到痕量的全覆蓋。

04 極致靈敏，鎖定污染源

最低 2E-9 Pa 的分壓檢測限，無論是工藝氣體的穩(wěn)定性，還是 ppt 級別的微量污染物，都能被精準(zhǔn)捕獲。

05 雙重防護(hù)，耐受極端腐蝕

提供釔銥/鎢雙燈絲方案，無懼鹵素等腐蝕性氣體侵蝕，核心部件壽命大幅延長，減少設(shè)備維護(hù)頻率與成本。

06 毫秒響應(yīng)，實(shí)時(shí)同步工藝

3ms/點(diǎn)疾速掃描速率，實(shí)時(shí)采集并分析氣相數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)同步工藝變化，讓污染隱患無所遁形，確保數(shù)據(jù)采集零遲滯。

07 智控預(yù)警，賦能數(shù)字化產(chǎn)線

支持API集成與自動(dòng)監(jiān)測報(bào)警功能，可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)自動(dòng)采集、分析與異常預(yù)警，推動(dòng)產(chǎn)線向智能化、數(shù)字化升級。

08 精準(zhǔn)分離，保障數(shù)據(jù)可靠

搭載高精度金屬四極桿，具備卓越的質(zhì)荷比分辨率與性能一致性，能精準(zhǔn)分離復(fù)雜氣相中的各類組分，為工藝優(yōu)化提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

二、多元應(yīng)用，覆蓋多領(lǐng)域高端制造

HM-150憑借強(qiáng)大的性能，廣泛適用于多種高端制造場景：

半導(dǎo)體制造：PVD/ALD/CVD（蒸發(fā)/濺射）、分子束外延（MBE）。

新型顯示：OLED 有機(jī)蒸鍍。

新能源：鋰金屬電池、固態(tài)電池極片制備、氫化物儲(chǔ)氫材料、光伏生產(chǎn)。

高端材料：真空熔煉、真空燒結(jié)（難熔/活性金屬）、真空釬焊與熱處理。

光學(xué)光電：精密光學(xué)鍍膜與光電子器件制造。

三、直擊行業(yè)痛點(diǎn)，解決核心難題

痛點(diǎn)1  高壓工況下痕量污染難監(jiān)測

在PVD、CVD等高壓制程中，常規(guī)RGA無法精準(zhǔn)捕捉痕量雜質(zhì)，導(dǎo)致污染隱患無法及時(shí)發(fā)現(xiàn)，最終引發(fā)良率波動(dòng)。

HM-150解決方案：最高2Pa高壓兼容+2E-9 Pa分壓檢測能力，在高壓環(huán)境下仍能精準(zhǔn)鎖定痕量雜質(zhì)，提前預(yù)防制程污染。

痛點(diǎn)2  腐蝕性氣體縮短設(shè)備壽命

含鹵素等腐蝕性氣體的制程中，設(shè)備核心部件易被腐蝕，頻繁更換不僅增加成本，還會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)線停機(jī)。

HM-150解決方案：釔銥/鎢雙燈絲雙重防護(hù)，耐受強(qiáng)腐蝕，核心部件長效穩(wěn)定，大幅降低維護(hù)成本與停機(jī)時(shí)間。

痛點(diǎn)3  數(shù)據(jù)滯后導(dǎo)致工藝調(diào)整不及時(shí)

傳統(tǒng)監(jiān)測設(shè)備響應(yīng)速度慢，無法實(shí)時(shí)同步工藝變化，等發(fā)現(xiàn)問題時(shí)，已造成批量產(chǎn)品報(bào)廢。 

HM-150解決方案：3ms/點(diǎn)疾速掃描+實(shí)時(shí)智控預(yù)警，數(shù)據(jù)采集零遲滯，異常情況即時(shí)報(bào)警，讓工藝調(diào)整更及時(shí)。

結(jié)語

掌控真空細(xì)節(jié)，決勝產(chǎn)線良率。HM-150高壓力殘余氣體分析儀，以自主硬核技術(shù)，為企業(yè)提供了一款兼具精度、穩(wěn)定性與性價(jià)比的產(chǎn)線良率“防損尖兵”，助力精密智造實(shí)現(xiàn)良率與效益的雙重飛躍。   

如果您的產(chǎn)線正面臨高壓工況監(jiān)測難題，或是想要提升制程穩(wěn)定性、降低生產(chǎn)成本，歡迎留言或電話溝通，獲取HM-150的詳細(xì)資料與定制化解決方案！