半導(dǎo)體
其他行業(yè)解決方案半導(dǎo)體制造涵蓋眾多精密工藝環(huán)節(jié)，每個(gè)環(huán)節(jié)的密封性能都直接影響最終產(chǎn)品的良率與可靠性。從刻蝕設(shè)備到CVD沉積，從去膠機(jī)到清洗設(shè)備，任何環(huán)節(jié)的密封失效都可能導(dǎo)致工藝污染、設(shè)備停機(jī)甚至產(chǎn)品報(bào)廢。海瑞思針對(duì)半導(dǎo)體制造全流程，提供專(zhuān)業(yè)的密封性檢測(cè)解決方案，確保各工藝設(shè)備在嚴(yán)苛的半導(dǎo)體制造環(huán)境中保持卓越的密封性能。
我們針對(duì)半導(dǎo)體制造四大關(guān)鍵工藝設(shè)備提供精準(zhǔn)檢測(cè)：
刻蝕設(shè)備密封檢測(cè)
采用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，精準(zhǔn)檢測(cè)反應(yīng)腔室、氣體管路等關(guān)鍵部位，確保工藝環(huán)境的純凈度與穩(wěn)定性。
CVD設(shè)備密封驗(yàn)證
對(duì)沉積設(shè)備的反應(yīng)室、進(jìn)氣系統(tǒng)進(jìn)行全面檢測(cè)，防止氣體泄漏導(dǎo)致的薄膜質(zhì)量缺陷。
去膠機(jī)密封評(píng)估
針對(duì)去膠設(shè)備的腔體密封性進(jìn)行專(zhuān)業(yè)檢測(cè)，確保工藝過(guò)程中的溫度均勻性和環(huán)境潔凈度。
清洗設(shè)備密封檢測(cè)
對(duì)濕法清洗設(shè)備的管路系統(tǒng)、腔體接口進(jìn)行密封驗(yàn)證，防止化學(xué)品泄漏導(dǎo)致的交叉污染。
檢測(cè)精度達(dá)10?11 mb·L/s，超越行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備綜合利用率提升至95%以上
產(chǎn)品良率提升0.8-1.5%
年度維護(hù)成本降低35%
